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特氣、GC特氣柜和特氣系統(tǒng)等常見相關(guān)問題大匯總!

特氣、GC特氣柜和特氣系統(tǒng)等常見相關(guān)問題大匯總!

發(fā)布時(shí)間:2021-03-11
氣體應(yīng)用系統(tǒng)工程行業(yè)雖然是一個(gè)小眾行業(yè),但它在現(xiàn)代工業(yè)中也是不可或缺的一部分,其工程覆蓋半導(dǎo)體、集成電路、光纖、太陽能電池、生物醫(yī)藥、食品安全、實(shí)驗(yàn)科研等多個(gè)高新技術(shù)領(lǐng)域。其中特氣系統(tǒng)是一個(gè)非常重要的組成部分,因?yàn)槠邢?,今天小編就先帶大家了解一下特氣、特氣柜和特氣系統(tǒng)吧!1.什么是特氣?特氣,又名特種氣體,是一種基礎(chǔ)化工原料,大多是易燃易爆、有毒、有腐蝕性、純度特別高(超過99.999%)的氣體,用來滿足特定需求如芯片制程等。至于如何界定屬不屬于特氣范疇,對(duì)于我們行業(yè)內(nèi)來說,主要看的是純度。2.特氣的分類:特種氣體(Specialtygases)門類繁多,通常可區(qū)分為電子氣體,標(biāo)準(zhǔn)氣,環(huán)保氣,醫(yī)用氣,焊接氣,殺菌氣等。3.關(guān)于特氣的純度,5N/6N是什么意思?5N:99.999% ,氣體純度達(dá)到5個(gè)nine;6N:99.9999% ,氣體純度達(dá)到6個(gè)nine。4.特氣的使用危險(xiǎn)性大不大?廣泛上來說危險(xiǎn)性很大,因?yàn)樘胤N氣體大多是危險(xiǎn)性氣體,如高純氯氣CL2擁有劇毒性,人體吸入過量高純氯氣會(huì)引起呼吸道損傷,嚴(yán)重時(shí)會(huì)引起急性肺水腫,搶救不當(dāng)可能會(huì)造成窒息死亡。但是只要你的技術(shù)過硬,經(jīng)驗(yàn)足夠,按照規(guī)定的操作規(guī)范進(jìn)行安全操作一般問題不大,這也是為什么特氣系統(tǒng)工程的安裝公司需要資質(zhì)的原因。5.什么是GC特氣柜?GC特氣柜是專為易燃易爆、腐蝕性、毒性等危險(xiǎn)特種氣體供應(yīng)而設(shè)計(jì)的供應(yīng)系統(tǒng)設(shè)備,主要用于特種氣體的高純度安全穩(wěn)定輸送。6.特氣柜的種類特氣柜按類別分全自動(dòng)、半自動(dòng)和手動(dòng)操作。其中全自動(dòng)GC特氣柜按功能設(shè)計(jì)可分為 單鋼瓶(1process)/ 雙鋼瓶( 2 Process ) / 三鋼瓶(2 Process + 1 N2) 氣瓶柜內(nèi)的鋼瓶數(shù)設(shè)計(jì)可分為三種:分別為單鋼瓶、雙鋼瓶、三鋼瓶。(1) 單鋼的設(shè)計(jì)通常使用于研究機(jī)構(gòu)或?qū)嶒?yàn)室等。工藝制程尚未有量產(chǎn),氣體使用量小,現(xiàn)場(chǎng)可隨時(shí)協(xié)調(diào)停機(jī)進(jìn)行鋼瓶之更換,其優(yōu)點(diǎn)節(jié)省空間、成本低、但需透過日常之管理與協(xié)調(diào)以免中斷工藝制程造成損失。 (2) 雙鋼與三鋼常用于量產(chǎn)工廠,工藝制程不允許停機(jī)情況,當(dāng)一支鋼瓶使用完后,另一支備用鋼瓶(stand by)會(huì)自動(dòng)轉(zhuǎn)為供氣,此兩種形式最大的差別是在purge管路的純化氮?dú)馐且凿撈炕驈S務(wù)端供應(yīng),當(dāng)purge用的PN2統(tǒng)一由廠務(wù)端來供應(yīng)時(shí),所有特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)不管是否相容,全部連接到同一個(gè)供應(yīng)源,會(huì)有較高的風(fēng)險(xiǎn)值;萬一中央供應(yīng)系統(tǒng)的PN2中斷,警報(bào)系統(tǒng)又損壞,恰巧兩種不相容的氣體同時(shí)使用purge,此時(shí)極有可能發(fā)生爆炸的事件發(fā)生,相同性質(zhì)可使用同一瓶鋼瓶來purge增加的成本及空間非常有限,是一種非常好的應(yīng)變方式。 (3) 三鋼氣柜成本不會(huì)差很多安全性會(huì)是最好的,只要空間允許應(yīng)最優(yōu)先選擇。7.全自動(dòng)特氣柜的功能作用全自動(dòng)特氣柜(Gas Cabinet )基本功能包括自動(dòng)吹掃、自動(dòng)切換以及緊急情況下的自動(dòng)安全切斷(當(dāng)設(shè)定報(bào)警信號(hào)被觸發(fā)時(shí))。采用PLC控制,觸控屏為人機(jī)界面,通過設(shè)備安裝的壓力傳感器、氣動(dòng)閥、過流量計(jì)等裝置,實(shí)現(xiàn)設(shè)備安全有效的運(yùn)行。其內(nèi)部PLC程式設(shè)計(jì)的安全聯(lián)鎖功能和高純閥件的合理選擇和布局,既滿足了半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)過程中對(duì)特殊氣體連續(xù)供給和高純度的要求,同時(shí)也確保了工廠正常生產(chǎn)和員工人身安全。8.特氣柜與普通氣瓶柜的區(qū)別?因特種氣體的特殊性,承載特種氣體的氣瓶柜體須為防爆柜體,同時(shí)為保證半導(dǎo)體制程工藝中特種氣體的穩(wěn)定供氣和安全,應(yīng)具備多種功能,如柜內(nèi)氣體泄漏偵測(cè)報(bào)警、PLC面板控制、全自動(dòng)吹掃等,提高使用安全系數(shù),有效的保護(hù)生產(chǎn)安全和人員的生命安全。其次,半導(dǎo)體行業(yè)配置電子特氣柜需要擁有SEMI S2認(rèn)證。9.特氣柜的SEMI S2認(rèn)證重要嗎?SEMI S2的對(duì)象是針對(duì)半導(dǎo)體制程設(shè)備的,是關(guān)于環(huán)境、健康、安全方面的標(biāo)準(zhǔn),也即為EHS標(biāo)準(zhǔn),因?yàn)榘雽?dǎo)體行業(yè)涉及到很多特種氣體、化學(xué)品及電氣、游離及非游離的輻射,如果處理不好,下游用戶在使用的時(shí)候就很容易導(dǎo)致事故甚至災(zāi)難,因此對(duì)設(shè)備廠商的設(shè)備產(chǎn)品如電子特氣柜,擁有SEMI S2認(rèn)證就顯得極端重要。10.那有SEMI S2認(rèn)證,功能齊全的特氣柜在哪可以買到呢?深圳沃飛科技有限公司專業(yè)從事氣體應(yīng)用十多年,施工資質(zhì)齊全,經(jīng)驗(yàn)豐富,不斷創(chuàng)新,擁有多項(xiàng)專利發(fā)明,其中自主研發(fā)設(shè)計(jì)全自動(dòng)特氣柜,配置功能齊全,擁有SEMI S2認(rèn)證。11.特氣系統(tǒng)是什么?特種氣體的儲(chǔ)存、輸送與分配過程的設(shè)備、管道和部件都總稱則稱為特氣系統(tǒng),是用于實(shí)現(xiàn)特氣安全使用的氣體系統(tǒng)工程。12.特氣系統(tǒng)的組成部分:特氣系統(tǒng)由供氣端(CF4是氣體鋼瓶供氣)、GC特氣柜/GR特氣架、氣體閥門分配箱VMB/VMP、耐腐蝕的316L EP不銹鋼管道和氣體監(jiān)測(cè)報(bào)警系統(tǒng)等組成。13.特氣系統(tǒng)的功能特點(diǎn):特氣系統(tǒng)中的每臺(tái)設(shè)備均配有PLC控制、彩色觸摸屏操作,帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監(jiān)控報(bào)警,并可擴(kuò)展地震監(jiān)控報(bào)警;單臺(tái)設(shè)備可以獨(dú)成系統(tǒng)獨(dú)立運(yùn)轉(zhuǎn),也可多臺(tái)設(shè)備用PLC或TGO連起來組成大系統(tǒng),在監(jiān)控中心統(tǒng)一監(jiān)控管理,其報(bào)警系統(tǒng)還可以與安監(jiān)系統(tǒng)、消防系統(tǒng)對(duì)接?! ?4.特氣系統(tǒng)的應(yīng)用領(lǐng)域?電子特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域,特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率,并從根本上制約著電路和器件的精確性和準(zhǔn)確性。15.特氣系統(tǒng)安裝的費(fèi)用貴不貴?這個(gè)主要看您的使用需求和工藝需求來實(shí)時(shí)設(shè)計(jì)報(bào)價(jià)的,深圳沃飛科技是提供從技術(shù)咨詢、整體規(guī)劃、系統(tǒng)設(shè)計(jì)、選定設(shè)備、預(yù)制組件、項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng)安裝建設(shè)、整體系統(tǒng)檢測(cè)等全套工程技術(shù)服務(wù)和配套產(chǎn)品銷售于一體的。具體的價(jià)格歡迎咨詢我們。聯(lián)系電話:0755-27919860以上,便是氣體應(yīng)用系統(tǒng)工程行業(yè)中特氣系統(tǒng)的一些常見問題的解答啦當(dāng)然,如果你還有更多想要了解可以關(guān)注私信我們,我們也會(huì)竭力為您解答。感謝您的閱讀,咱們下次再見!
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