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半導(dǎo)體制程含有酸性/堿性物質(zhì)的廢氣 應(yīng)就地配置廢氣處理設(shè)備的原因

半導(dǎo)體制程含有酸性/堿性物質(zhì)的廢氣 應(yīng)就地配置廢氣處理設(shè)備的原因

發(fā)布時間:2020-11-24
在半導(dǎo)體工藝制程中,需要使用多種特殊氣體、大量的酸、堿等化學(xué)品以及有機溶劑和揮發(fā)性液體,這些氣體和化學(xué)品在半導(dǎo)體制造的不同工藝中使用會產(chǎn)生廢氣,這些廢氣如果沒有經(jīng)過廢氣處理設(shè)備很好的處理便進行排放,將造成嚴重的問題,不僅影響人們的身體健康,惡化大氣環(huán)境,造成環(huán)境污染的公害事件等,也會成為半導(dǎo)體制造中AMC污染的重要來源。半導(dǎo)體制程工藝中產(chǎn)生的廢氣類別大概有:一般氣體廢氣、含毒性物質(zhì)的廢氣、有機廢氣和含有酸性/堿性物質(zhì)的廢氣。對于含有酸性/堿性物質(zhì)的廢氣,半導(dǎo)體廠大多采用大型洗滌式中央廢氣處理系統(tǒng)進行處理。但由于半導(dǎo)體制造工作區(qū)域離中央廢氣處理系統(tǒng)距離較遠,因此部分酸性/堿性廢氣在輸送至中央廢氣處理系統(tǒng)前,常因氣體特性導(dǎo)致在管道中結(jié)晶或粉塵堆積,造成管道堵塞后導(dǎo)致氣體外泄,嚴重者甚至引發(fā)爆炸,危害現(xiàn)場工作人員的工作安全。所以,在工作區(qū)域需配置適合制程氣體特性的就地廢氣處理設(shè)備進行就地處理,之后在排入中央處理系統(tǒng),從而避免事故的發(fā)生,這就是為什么應(yīng)就地配置廢氣處理設(shè)備的原因。
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