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2020-03-21 09:25:58 責(zé)任編輯: 沃飛科技 0
PECVD設(shè)備的scrubber的作用和分類以及安裝位置
PECVD設(shè)備接scrubber是干什么用的?scrubber 一般接在什么位置?下面由沃飛科技來為大家簡單的講解一下CVD設(shè)備的scrubber的作用和分類以及安裝位置。
Scrubber基本上是專為PECVD設(shè)備的尾氣處理而設(shè)計的一種設(shè)備,PECVD尾氣一般含有大量Particles以及棘手的未反應(yīng)易爆易燃或有毒氣體排出,Scrubber為降低后端處理的困擾與安全而專門設(shè)計的設(shè)備。local scrubber專屬PECVD單臺或多臺使用,可分為燃燒式, 加熱式, 等離子式, 搭配水洗!
Scrubber設(shè)備的分類
scrubber根據(jù)不同的工藝,產(chǎn)生不同的尾氣;選用不同的處理方式的!
scrubber設(shè)備有電加熱式、燃氣式、吸附式、還有一種是用plasma式,其中吸附式要更換吸附桶,使用起來價格比較高,但維護起來是最方便的。
一般選用可用加熱水洗式,水洗加熱再水洗式。SiH4在燃燒后會反應(yīng)成SIO2。NH3與水反應(yīng)會產(chǎn)生結(jié)晶物。NF3, WF3,SIF4,C2F6的離子鍵會在燃燒后打開,再跟水反應(yīng)成HF。
Scrubber設(shè)備的安裝位置
Scrubber設(shè)備一般安裝在設(shè)備真空泵pump和廢氣排出總管之間。有毒有害的廢氣經(jīng)過真空泵pump抽壓抽到Scrubber設(shè)備經(jīng)過處理后然后在排到廠務(wù)。
以上就是沃飛科技為大家簡單講解的關(guān)于CVD設(shè)備的scrubber的作用和分類以及安裝位置,希望能給大家提供參考。
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