大宗特種氣體供氣系統(tǒng)的應(yīng)用和介紹

大宗特種氣體供氣系統(tǒng)介紹（集成電路、太陽能電池、LED、液晶顯示）

大宗特種氣體供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸（1英寸=25.4毫米） 超大規(guī)模集成電路廠（氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太陽能電池生產(chǎn)線（氣體種類包括NH3），發(fā)光二極管的磊晶工序線（氣體種類包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類包括4、3、NF3）、光纖（氣體種類包括SiCl4）、硅材料外延生產(chǎn)線（氣體種類包括HCL）等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大，采用先進(jìn)的工藝制程設(shè)備，用氣需求量大，對穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安,全生產(chǎn)提出嚴(yán)格的要求。

上述工廠的大宗普通氣體多采用現(xiàn)場制氣(On-site)或工業(yè)園區(qū)管道(Pipeline)集中供應(yīng)方式，一個年產(chǎn)5萬片的8英寸 超大規(guī)模集成電路廠高純氮氣的需求超過5,000Nm3/h，發(fā)光二極管的磊晶工序線和硅外延生產(chǎn)線的氫氣需求超過100Nm3/h。

除了普通鋼瓶（50L及以下）包裝的特種氣體外，還有多種類的特種氣體都普遍采用大包裝容器，由此它們被稱為大宗特氣，包括Y-鋼瓶（450L），T-鋼瓶（980L），集裝格（940L），ISO罐（22,500L），大灌車（13,400L）等。

大宗特種氣體供氣系統(tǒng)（BSGS）采用全自動PLC控制系統(tǒng)，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器，可實現(xiàn)自動切換，自動氮氣吹掃，自動真空輔助放空；多重安,全防護(hù)措施，泄漏偵測，遠(yuǎn)程緊急切斷；專用氮氣吹掃起源等等。特種氣體采用單獨氣源，多用點采用VMB或VMP分路供應(yīng)，VMB或VMP采用支路氣動閥，氮氣吹掃，真空輔助排空等。由于BSGS氣源總量大，多采用單獨的氣體房，單獨的抽風(fēng)系統(tǒng)。

深圳沃飛科技有限公司是一家從事氣體應(yīng)用系統(tǒng)工程：電子特氣系統(tǒng)、實驗室氣路系統(tǒng)、工業(yè)集中供氣系統(tǒng)、大宗氣體（液體）系統(tǒng)、高純氣體及特種工藝氣體二次配管系統(tǒng)、化學(xué)品輸送系統(tǒng)、純水系統(tǒng)提供從技術(shù)咨詢、整體規(guī)劃、系統(tǒng)設(shè)計、選定設(shè)備、預(yù)制組件、項目現(xiàn)場安裝建設(shè)、整體系統(tǒng)檢測等全套工程技術(shù)服務(wù)和配套產(chǎn)品于一體的高新技術(shù)企業(yè)； 榮獲“高新技術(shù)企業(yè)”認(rèn)定并取得證書。

工程項目覆蓋半導(dǎo)體、集成電路、光電、新能源、微電子、生物醫(yī)藥、科研所、標(biāo)準(zhǔn)檢測等高科技行業(yè)；為客戶提供高純介質(zhì)輸送系統(tǒng)全套解決方案與全國各大院?？蒲兴献餮邪l(fā)的多個實驗室項目，并取得了可喜的成績。同時為眾多高新技術(shù)企業(yè)和上市企業(yè)提供了優(yōu)良的氣體應(yīng)用系統(tǒng)服務(wù)，保障其生產(chǎn)和設(shè)備的可靠運行！

同時公司擁有奧飛克AFK 、Afklok 、沃飛 等品牌，自主研發(fā)生產(chǎn)的氣體混配器、特氣柜、氣體匯流排、VMB閥門箱、氣體減壓器、管件接頭、閥門儀表等產(chǎn)品暢銷于全球26個地區(qū)和國家，并獲得了多項發(fā)明專利，為了追求更好品質(zhì)并給客戶提供更高更保障的技術(shù)，嚴(yán)格按照ISO9001標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行各項管理。

以上就是沃飛科技大宗特種氣體供氣系統(tǒng)的應(yīng)用和介紹