高純氣體管道系統(tǒng)所用閥門的嚴(yán)密性有十分嚴(yán)格的要求，目前國(guó)內(nèi)實(shí)驗(yàn)室的高純氣體管道的閥門基本都采用SS316L不銹鋼材質(zhì)，閥門型式有減壓閥、隔膜閥、波紋管閥和球閥。減壓閥也叫減壓器調(diào)壓閥，是專門控制氣體的壓力調(diào)節(jié)作用，波紋管閥的嚴(yán)密性比球閥好，在氣體流過(guò)閥門時(shí)沒(méi)有與外環(huán)境接觸的填料，所以沒(méi)有滲漏現(xiàn)象：隔膜閥除了嚴(yán)密性與波紋管閥相當(dāng)以外，還具有閥體死體積小，易吹除且污染少，所以適用于對(duì)氣體純度和生產(chǎn)工藝要求極嚴(yán)格或者危險(xiǎn)性大的氣體。

實(shí)驗(yàn)室高純氣體管道系統(tǒng)安裝要求

1、高純氣體一般采用卡套接頭連接和自動(dòng)氬弧軌道焊接，焊接型式通常采用承插焊和對(duì)焊，承插焊的好處在于施焊時(shí)管道的對(duì)中，方便焊接，但缺點(diǎn)是由于管道與承插口之間有間隙，會(huì)存在“死空間’不易將雜質(zhì)吹除，影響高純氣體質(zhì)量。因此對(duì)于要求極為嚴(yán)格的高純氣體來(lái)說(shuō)，應(yīng)采用對(duì)接焊連接并要求內(nèi)表面無(wú)焊縫，即在施工時(shí)不得使用不銹鋼焊絲，利用母材的本身融化填滿焊縫。

2、為確保輸送至用氣設(shè)備的氣體質(zhì)量，高純氣體管道與用氣設(shè)備之間應(yīng)用不銹鋼金屬軟管連接，不宜采用非金屬軟管。

3、高純氣體管道與閥門等附件連接應(yīng)采用密封不易泄漏的專用接頭予以連接，常用的接頭方式有兩種：分別為VCR（Vacuum Coupling Retainer）和SWG（Swaglok），VCR采用優(yōu)良的金屬墊，利用縱向壓力壓緊，因此泄漏率極低，約為10～9A cc/s，且耐壓較高，常用于氣體雜質(zhì)含量1.0×10－9級(jí)的高純氣輸送系統(tǒng)，而SWG則不如VCR，耐壓較低，基本上這兩種接頭方式的安全性足可代替焊接的方式。

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